• APC Valve
  • NFV 2000 Smart Exhaust Pressure Controller
    NFV 2000 Smart Exhaust Pressure Controller는 진공 Chamber의 압력을 조절하는데 사용됩니다.
    또한, 넓은 범위의 압력을 조절할 수 있도록 제작 되었습니다. Controller와 Valve가 일체형으로 제작되어 추가적인 Controller를 사용하지 않아 원가 절감에 효과를 가질 수 있습니다.
    Features & Benefits
    - NFV 2000 Smart Exhaust Throttle Valve는 Micro-Stepping Motor 및 Direct Gear Driver를 사용하여 Valve의 Resolution을 향상시켰고, 반 영구적으로 사용이 가능합니다.
    - NFV 2000 Smart Exhaust Throttle Valve는 High Torque Motor를 용하기 때문에 Vacuum Line(예:12 inch)이 Large Size Chamber에서도 사용이 가능합니다.
    - NFV 2000 Smart Exhaust Throttle Valve Body는 150℃까지 Heating을 하여도 사용이 가능합니다. (Sealing Type은 제외)
    - NFV 2000 Smart Exhaust Throttle Valve는 Flapper의 Position을 User가 외부에서도 확인이 가능하도록 FND로 표시하여, Valve의 동작여부를 장비에서 탈착 하지 않아도 확인 가능하게 설계 되어있습니다.
    - NFV 2000 Smart Exhaust Throttle Valve는 고객이 원하는 대로 주문 시 Flange Style을 설정할 수 있습니다.(Flange Style : ISO-NW, ASA, CF, JIS, KF)
    - NFV 2000 Smart Exhaust Throttle Valve는 외부에서 DC Power(+/- 15VDC)를 공급받아야 사용이 가능합니다.
    Specifications Type NMV2000
    Speed(open to close) 1.5sec
    Resolution 1/12000
    Drive Method Direct gear drive
    Maximum Valve Body
    Operationg Temperature
    Standard : 0-100
    Optional : 0-150(Note 1)
    Valve Motor Ambient
    Operationg Temperature
    -20 to +40
    Differential Pressure
    Across Valve
    1 atm. (15 psig) max.
    External Leakage at Shaft seal 1x10-8 scc/sec He
    Materials Exposed to Process Standard : 304 S.S., Viton(Note 2)
    Optional : 316 S.S., Viton (Note 2)
    Visual Position Indicator FND
    Drive Output Torque 800 in-oz
    Closed Leakage(valves with a flapper o-ring) <10-7(Torr l/s)
    Flange Styles:
    ISO-NW
    ASA
    CF
    JIS
    KF
    Notes:
    1, Consists with shaft seal and flapper seal o-ring material.
    2. Where Viton is used, other materials are available; consult factory.
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