| 반도체에서 필요로 하는 진공공간은 Chamber Room이다. Chember의 진공 상태를 형성하기 위해서는 진공 Pump가 필요하다.
Pump를 Chember 옆에 설치하여 사용하면 진공도 및 Base Pumping에 좋으나 Pump의 진동과 배기 Gas가 Run 상태에서는
치명적인 악영향을 주므로 Plan Room이란 지하공간을 만들어 POU설비 (Chiller, Scrubber, Pump)를 설치한다.
이때 Plan Room에서 Fab 까지의 진공 및 N2 배관이 필요하며, NFS에서는 고객의 요구에 맞는 제품을 제작하여 공급하고
있습니다. |
HOME > 제품소개 > Vacuum & GAS 배관 
